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鹽城市火焱石英玻璃廠
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Q  Q:170477140
  產品展示
半導體用氣煉透明石英玻璃管
 
石英玻璃管系列:﹙單位:㎜﹚
1
氣煉透明石英玻璃管
直徑5~350長度5~4000厚度1~30大
2
半導體用高溫涂層石英玻璃管
擴散、氧化、膜形成(CVD)工序的高純石英爐芯管
3
電光源用無溴氧透明石英玻璃管
各種規格
4
連熔石英玻璃管
各種規格
5
電熔石英玻璃管
各種規格
6
乳白石英玻璃管
各種規格
7
耐高溫石英玻璃化工管道
各種規格
8
普通玻璃化工管道、反應釜通氯管
各種規格
◆ 石英玻璃之洗凈方法
    石英玻璃在半導體工業設備上,使用溫度經常在1000℃至1300℃之高溫狀態,在此種狀態下由于附著不純物導致失透現象發生,失透之部分為石英之晶質化,晶質化之變態點為275℃,當石英玻璃自高溫降至此變態溫度時,表面失透之晶質化部分與石英玻璃本身高溫之α相與低溫之β相間膨脹系數不同在急速冷卻下產生不透明之剝離狀,更嚴重時會造成破裂現象產生。為使石英制品能使用更久,就必須注意防止造成石英失透產生的原因,而造成失透的污染源就屬堿金屬、堿土金屬、汗水、口水、油污、塵埃……等等。且0.1mg/cm2
就會造成數十倍或數百倍的失透量。
    因此,防止這些污染源附著在石英表面上除了不直接用空手去拿石英外,使用在高溫作業之前必先做清洗之工作以確保石英表面之潔凈度。
    一般石英之洗凈須要一些程序,首先用純水先沖洗表面,再置入酸洗槽內浸泡一些時間,取出后再用純水沖洗后晾干。
    酸液之種類如下:

種類/項目
濃度
時間
氟酸(HF)
47.0%~52.0%
1~2分鐘
氟酸(HF)
5.0%~10%
10~15分鐘
氟酸+硝酸
50%+65%
10~15分鐘
氟酸+硫酸
50%+65%
10~15分鐘
 
上一張:氣煉石英坨             下一張:沒有了
 
  
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